김한 장지수 허성훈 송현철 백승협 최지원 김진상 강종윤 김성근 2026-03-27T21:30:06Z 2026-03-27T21:30:06Z 2026-04-07 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/154534 원자층증착법을 이용한 귀금속박막의 영역선택적 증착 방법 Patent 2026-04-07 2024-08-05 12595554 18/794977 US 특허 한국과학기술연구원