김한 장지수 허성훈 송현철 백승협 최지원 김진상 강종윤 김성근 2026-05-01T21:30:15Z 2026-05-01T21:30:15Z 2026-04-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/154617 원자층증착법을 이용한 귀금속박막의 영역선택적 증착 방법 Patent 2026-04-22 2023-10-19 10-2957923 10-2023-0140605 KO 특허 한국과학기술연구원