김명종 이헌수 류재현 안석훈 장세규 2024-01-12T02:39:31Z 2024-01-12T02:39:31Z 2021-07-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/76113 균질한 대면적 이중층 그래핀의 PECVD에 의한 제조방법 Patent 2021-07-01 2019-11-08 10-2274206 10-2019-0142245 KO 특허 한국과학기술연구원