강구민 한일기 김춘근 김영환 고형덕 권석준 2024-01-12T02:41:53Z 2024-01-12T02:41:53Z 2019-11-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/76221 특정 파장의 광원 및 반응성 가스를 이용하여 대상물의 표면을 평탄화하는 방법 및 장치 Patent 2019-11-22 2018-04-25 10-2049806 2018-0047899 KO 특허 한국과학기술연구원