김성근 이우철 김상태 송현철 백승협 에릭 라슨 김진상 강종윤 크리스토퍼 빌라브스키 염정환 최지원 2024-01-12T02:42:19Z 2024-01-12T02:42:19Z 2023-05-19 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/76243 반도체 메모리 소자의 커패시터 유전막 및 그 제조 방법 Patent 2023-05-19 2018-12-28 ZL201811623772.5 201811623772.5 CC 특허 한국과학기술연구원