서민아 이상훈 김진수 박규환 최종호 김철기 2024-01-12T02:42:58Z 2024-01-12T02:42:58Z 2018-11-15 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/76276 메타물질 기반 센싱 소자를 이용한 박막의 전기적 특성 비접촉식 관찰 방법 Patent 2018-11-15 2017-09-15 10-1920870 2017-0118866 KO 특허 한국과학기술연구원