강준현 한일기 권석준 박준서 박재관 고형덕 강구민 김영환 2024-01-12T02:43:04Z 2024-01-12T02:43:04Z 2019-08-19 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/76281 가시광선 광원을 이용한 ITO 박막의 표면 평탄화 방법 및 장치 Patent 2019-08-19 2017-06-08 10-2013787 2017-0071494 KO 특허 한국과학기술연구원