김인호 김원목 정두석 김준곤 송종한 이택성 2024-01-12T03:37:15Z 2024-01-12T03:37:15Z 2017-11-07 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/76974 초박형 실리콘 태양전지 제조 방법 Patent 2017-11-07 2015-09-22 10-1797117 2015-0133469 KO 특허 한국과학기술연구원