백영준 이욱성 박종극 2024-01-12T03:37:53Z 2024-01-12T03:37:53Z 2015-12-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/77005 나노크기의 주상입자 조직을 갖는 초경도 탄화규소 박막 Patent 2015-12-01 2014-11-20 10-1575103 2014-0162457 KO 특허 한국과학기술연구원