전영민 김용수 안준모 서민아 우덕하 박민철 변영태 김철기 이석 김재헌 2024-01-12T03:38:12Z 2024-01-12T03:38:12Z 2017-12-12 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/77021 다중 가스셀 모듈을 이용한 극자외선 빔 생성장치 Patent 2017-12-12 2015-12-28 9844125 14/979729 US 특허 한국과학기술연구원