송진동 최원준 장준연 임주영 2024-01-12T04:30:49Z 2024-01-12T04:30:49Z 2010-03-30 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/77994 In(As)Sb 반도체의 격자 부정합 기판상 제조방법 및 이를 이용한 반도체 소자 Patent 2010-03-30 2007-12-28 7,687,379 US 11/966,580 US 특허 한국과학기술연구원