홍재민 김일두 손원일 2024-01-12T04:33:17Z 2024-01-12T04:33:17Z 2007-01-16 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/78098 3차원 나노구조의 제조 방법 Patent 2007-01-16 2005-10-28 0672872 2005-0102342 KO 특허 한국과학기술연구원