변윤기 한경섭 성한규 이승용 최성철 박상환 최헌진 2024-01-12T04:33:24Z 2024-01-12T04:33:24Z 2009-08-18 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/78103 갈륨망간나이트라이드 단결정 나노선의 제조방법 Patent 2009-08-18 2005-12-22 7575631 11/314502 US 특허 한국과학기술연구원