김광호 송귀은 전재학 이윤표 2024-01-12T04:36:46Z 2024-01-12T04:36:46Z 2006-09-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/78253 미소 전자 기계 구조의 발전기 Patent 2006-09-01 2002-09-18 NL 1323668 02020901.1 특허 한국과학기술연구원