주병권 오명환 박흥우 2024-01-12T05:36:25Z 2024-01-12T05:36:25Z 1999-09-15 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/78777 중간　삽입층을　이용한　직접　접합　공정과　이를　이용하는　전계방출　소자의진공실장공정　및　실리사이드　제조공정 Patent 1999-09-15 1996-12-27 234002 96-73596 KO 특허 한국과학기술연구원