고석근 조준식 백영환 한영건 2024-01-12T06:01:21Z 2024-01-12T06:01:21Z 2006-05-31 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/79152 고분자　기판　위의　인듐산화물　또는　인듐주석산화물　박막증착　방법 Patent 2006-05-31 2002-08-14 ZL00818987.0 00818987.0 CC 특허 한국과학기술연구원