김인호 박종극 이경석 이도권 2024-01-12T06:03:35Z 2024-01-12T06:03:35Z 2021-09-27 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/79261 준무작위 나노구조로 실리콘 웨이퍼를 텍스쳐링 하는 방법과 이 방법에 의해 제조된 실리콘 웨이퍼 및 이러한 실리콘 웨이퍼를 포함하는 태양전지 Patent 2021-09-27 2019-11-29 10-2307791 10-2019-0156930 KO 특허 한국과학기술연구원