박재현 김재경 심유민 2024-01-12T06:05:21Z 2024-01-12T06:05:21Z 2020-01-28 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/79346 헥사고날 보론 니트라이드 박막의 제조 방법 및 이를 이용한 다층 구조의 제조 방법 및 스위칭 소자의 제조 방법 Patent 2020-01-28 2018-11-06 10-2072580 10-2018-0134962 KO 특허 한국과학기술연구원