백승협 길태현 이기석 최원준 백정민 김상현 2024-01-12T06:43:14Z 2024-01-12T06:43:14Z 2020-01-07 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/80029 마이크로 볼로미터를 위한 바나듐 산화물 박막 제조 방법 Patent 2020-01-07 2017-05-19 10-2065528 10-2017-0062411 KO 특허 한국과학기술연구원