김상현 김성광 심재필 김형준 2024-01-12T06:44:36Z 2024-01-12T06:44:36Z 2018-06-26 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/80095 III-V족 화합물의 면방향 의존성을 이용한 에피택셜 리프트오프에 의한 반도체 소자의 제조 방법 Patent 2018-06-26 2016-09-21 10-1873255 2016-0120538 KO 특허 한국과학기술연구원