송진동 이은혜 한일기 오현지 최원준 배민환 2024-01-12T07:11:18Z 2024-01-12T07:11:18Z 2014-04-17 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/80594 격자 부정합 해소층을 이용한 화합물 반도체 기판 및 그 제조방법 Patent 2014-04-17 2013-02-21 1388523 2013-0018424 KO 특허 한국과학기술연구원