손지원 박정훈 윤경중 제해준 이해원 김병국 이종호 2024-01-12T07:11:38Z 2024-01-12T07:11:38Z 2015-03-09 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/80610 분할 타겟 펄스 레이저 증착 장치 및 이를 이용한 초박막 다층구조 증착 방법 Patent 2015-03-09 2012-11-22 10-1502449 10-2012-0132942 KO 특허 한국과학기술연구원