최지현 신희섭 송호영 김신근 성호근 2024-01-12T07:15:41Z 2024-01-12T07:15:41Z 2012-03-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/80803 미세전극 어레이 제조방법 Patent 2012-03-05 2010-02-23 10-1125603 2010-0016300 KO 특허 한국과학기술연구원