강종윤 윤석진 김홍희 소형종 이경우 2024-01-12T07:43:45Z 2024-01-12T07:43:45Z 2007-08-16 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/81250 압전식 유체 제어 밸브 Patent 2007-08-16 2006-07-11 0751289 2006-0065056 KO 특허 한국과학기술연구원