신현준 문성욱 2024-01-12T07:45:30Z 2024-01-12T07:45:30Z 2007-03-14 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/81331 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이 및 그 제조방법 Patent 2007-03-14 2004-10-16 0697715 2004-0082894 KO 특허 한국과학기술연구원