최원국 정연식 노영수 박종용 2024-01-12T08:05:00Z 2024-01-12T08:05:00Z 2006-03-27 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/81618 사파이어　기판의　전처리　방법　및　이를　이용한　산화아연　박막증착　방법 Patent 2006-03-27 2003-12-10 566917 2003-0089429 KO 특허 한국과학기술연구원