김은규 심재환 김태환 박용주 강승언 추동철 2024-01-12T08:07:45Z 2024-01-12T08:07:45Z 2003-01-20 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/81746 집속이온빔을　이용한　나노결정체　형성방법 Patent 2003-01-20 2000-12-26 370659 00-82009 KO 특허 한국과학기술연구원