송종한 이석 최원국 윤영수 임성일 2024-01-12T08:08:14Z 2024-01-12T08:08:14Z 2003-02-27 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/81768 이온주입에　의한　고전압　쇼트키　다이오드　제조방법 Patent 2003-02-27 2000-08-09 375595 00-46213 KO 특허 한국과학기술연구원