이동준 박재현 2024-01-12T08:39:31Z 2024-01-12T08:39:31Z 2022-01-14 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/82388 High-k 절연층 위에 보론 나이트라이드 단일 원자층 직접 전사법을 활용한 차세대 게이트 다이일렉트릭 구현 Patent 2022-01-14 2020-11-18 10-2353225 10-2020-0154191 KO 특허 한국과학기술연구원