김인호 김준곤 송종한 김원목 이현승 정두석 박종극 이도권 이택성 2024-01-12T09:06:43Z 2024-01-12T09:06:43Z 2018-12-26 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/82891 초박형 반도체 웨이퍼의 제조 방법, 그로부터 제조된 초박형 반도체 웨이퍼와 이를 포함하는 태양 전지, 그리고, 전술한 방법의 모든 단계를 포함하는 태양 전지 셀 제조 방법 및 이에 따라 제조된 태양 전지 셀 Patent 2018-12-26 2017-09-28 10-1934569 2017-0126389 KO 특허 한국과학기술연구원