도정만 윤진국 최영준 유병용 한승희 2024-01-12T09:07:53Z 2024-01-12T09:07:53Z 2018-07-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/82945 실리콘 웨이퍼 및 반도체 반응기용 알루미늄 합금 및 내식/내침식 PEO 코팅 Patent 2018-07-04 2017-01-09 1877017 2017-0003064 KO 특허 한국과학기술연구원