김형준 김상현 임희정 김연수 심재필 2024-01-12T09:08:25Z 2024-01-12T09:08:25Z 2018-08-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/82969 변형된 저마늄을 포함하는 반도체 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자 Patent 2018-08-10 2016-09-13 10-1889352 2016-0118034 KO 특허 한국과학기술연구원