주현수 장준연 이교섭 송진동 2024-01-12T09:09:22Z 2024-01-12T09:09:22Z 2019-02-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/83013 적층 가능한 비정질 기판 위 III-V 반도체 소자 및 그 제작 방법 Patent 2019-02-22 2016-08-26 10-1953217 2016-0109471 KO 특허 한국과학기술연구원