유복렬 조소혜 이동원 한준수 2024-01-12T09:33:04Z 2024-01-12T09:33:04Z 2016-08-30 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/83449 전이금속이 담지된 활성탄을 이용한 염화실란의 재분배 반응공정개발 Patent 2016-08-30 2014-10-23 10-1654119 2014-0143938 KO 특허 한국과학기술연구원