강종윤 윤석진 장호원 김진상 최지원 도영호 2024-01-12T10:01:04Z 2024-01-12T10:01:04Z 2012-12-12 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/83924 산화물 박막 소자의 제조방법 Patent 2012-12-12 2011-05-11 10-1213606 2011-0043928 KO 특허 한국과학기술연구원