최승석 황승상 백경열 홍순만 나종범 곽순종 오성연 알버트 이성수 박상희 구종민 2024-01-12T10:01:27Z 2024-01-12T10:01:27Z 2013-04-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/83941 환형 실록산 화합물과 불소계 실란 단량체를 혼성화한 재료를 이용한 저유전막 및 이의 제조방법 Patent 2013-04-22 2010-11-30 10-1258561 2010-0120356 KO 특허 한국과학기술연구원