이중기 조병원 이화영 김형석 우주만 장원영 유경선 이상득 2024-01-12T10:02:56Z 2024-01-12T10:02:56Z 2011-07-20 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84010 반도체생산 공정에서 배출되는 함불소가스를 효과적으로 분해하기 위한 흡착농축시스템과 결합된 열분해복합공정 기술 Patent 2011-07-20 2009-05-29 10-1052064 2009-0047382 KO 특허 한국과학기술연구원