이현정 김준경 오경아 황선나 2024-01-12T10:03:25Z 2024-01-12T10:03:25Z 2010-12-30 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84032 금속 스퍼터링을 이용한 전도성필름 제조방법 및 전도성필름 Patent 2010-12-30 2009-04-15 1006456 2009-0032914 KO 특허 한국과학기술연구원