이욱성 박종극 백영준 Heqing Li 2024-01-12T10:05:33Z 2024-01-12T10:05:33Z 2009-10-13 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84128 나노 결정질 다이아몬드 박막 중의 비정상 거대입자의 개재를 방지하는 방법 Patent 2009-10-13 2007-09-14 10-0922543 2007-0093541 KO 특허 한국과학기술연구원