Han, Dong Keun 2024-01-12T10:08:27Z 2024-01-12T10:08:27Z 2022-01-14 2001-01-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84233 반도체 초미세가공기술용 유기 반사방지막(ARC) 재료의 개발 Conference 2 한국고분자학회