김광호 전재학 송귀은 이윤표 2024-01-12T10:32:28Z 2024-01-12T10:32:28Z 2009-09-16 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84551 이중 박막을 갖는 마이크로 시스템용 발전기 Patent 2009-09-16 2004-03-30 1528609 04007655.6 특허 한국과학기술연구원