변영태 이석 박화선 우덕하 이종창 2024-01-12T10:32:52Z 2024-01-12T10:32:52Z 2006-05-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84569 높은 위상변조 효율을 갖는 ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰｒｉｄｇｅ 도파로 위상 변조기의 에피박막층 제조방법 Patent 2006-05-02 2004-01-06 7,037,739 10/751,858 US 특허 한국과학기술연구원