김태송 이정훈 김형준 강지윤 2024-01-12T10:34:12Z 2024-01-12T10:34:12Z 2005-03-21 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84627 캔틸레버 센서 및 그 제조 방법 Patent 2005-03-21 2002-05-30 0479687 2002-0030340 KO 특허 한국과학기술연구원