김태송 이정훈 김형준 강지윤 2024-01-12T10:34:21Z 2024-01-12T10:34:21Z 2006-04-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/84634 캔틸레버 센서 및 그 제조 방법 Patent 2006-04-04 2003-05-30 7,022,540 10/448,188 US 특허 한국과학기술연구원