정일남 조은정 송철호 이규환 2024-01-12T11:01:11Z 2024-01-12T11:01:11Z 1995-09-28 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/85062 트리실라알칸　화합물의　열분해에　의한베타형　탄화규소　미세분말의　제조방법 Patent 1995-09-28 1992-07-28 89715 92-13506 KO 특허 한국과학기술연구원