이임걸 김정식 김신근 2024-01-12T11:02:06Z 2024-01-12T11:02:06Z 1998-06-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/85103 무패턴　기판　결함　자동검색장치　및　그　검색방법 Patent 1998-06-29 1995-04-14 152582 95-8802 KO 특허 한국과학기술연구원