이재갑 은광용 백영준 2024-01-12T11:04:45Z 2024-01-12T11:04:45Z 2002-09-03 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/85218 균열이　없고　평탄한　다이아몬드막　합성방법 Patent 2002-09-03 1999-04-30 352985 99-15647 KO 특허 한국과학기술연구원