이욱성 은광용 백영준 2024-01-12T11:04:57Z 2024-01-12T11:04:57Z 2007-06-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/85227 다이아몬드　막　증착방법 Patent 2007-06-05 2000-04-05 1043419 00107087.9 특허 한국과학기술연구원