정호중 황태연 문성욱 한상욱 전승우 조영욱 임향택 이승우 이정현 김용수 2024-01-12T11:30:48Z 2024-01-12T11:30:48Z 2022-10-19 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/85604 이온주입용 마스크 형성방법 및 이를 이용한 점결함 센터 형성 방법 Patent 2022-10-19 2020-09-24 10-2458001 10-2020-0124081 KO 특허 한국과학기술연구원