고은정 최정혜 2024-01-12T11:35:10Z 2024-01-12T11:35:10Z 2019-12-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/85787 게이트 산화막의 터널링에 대한 유효산화물두께 및 임계산화물두께 예측 Patent 2019-12-02 2018-06-19 10-2053331 2018-0070133 KO 특허 한국과학기술연구원